APA-Zitierstil (7. Ausg.)
Beneking, H. (1991). Halbleiter-Technologie. Eine Einführung in die Prozesstechnik von Silizium und III-V-Verbindungen. BSB Teubner.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)
Beneking, Heinz. Halbleiter-Technologie. Eine Einführung in Die Prozesstechnik Von Silizium Und III-V-Verbindungen. Stuttgart: BSB Teubner, 1991.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)
Beneking, Heinz. Halbleiter-Technologie. Eine Einführung in Die Prozesstechnik Von Silizium Und III-V-Verbindungen. BSB Teubner, 1991.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.