APA (7th ed.) Citation
Beneking, H. (1991). Halbleiter-Technologie. Eine Einführung in die Prozesstechnik von Silizium und III-V-Verbindungen. BSB Teubner.
Chicago Style (17th ed.) Citation
Beneking, Heinz. Halbleiter-Technologie. Eine Einführung in Die Prozesstechnik Von Silizium Und III-V-Verbindungen. Stuttgart: BSB Teubner, 1991.
MLA (9th ed.) Citation
Beneking, Heinz. Halbleiter-Technologie. Eine Einführung in Die Prozesstechnik Von Silizium Und III-V-Verbindungen. BSB Teubner, 1991.
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