Jansen, H. V., & Elwenspoek, M. (1998). Silicon micromachining. Cambridge University Press.
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Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)
Jansen, Henri V., und Miko Elwenspoek. Silicon Micromachining. Cambridge: Cambridge University Press, 1998.
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MLA-Zitierstil (9. Ausg.)
Jansen, Henri V., und Miko Elwenspoek. Silicon Micromachining. Cambridge University Press, 1998.
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