Šiška, M., Hotový, I., & Dudík, M. (1999). Plazmatické leptanie kremíka = Plasme etching of silicon: Dipl.práca. STU v Bratislave FEI.
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Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)
Šiška, Marián, Ivan Hotový, und Miroslav Dudík. Plazmatické Leptanie Kremíka = Plasme Etching of Silicon: Dipl.práca. Bratislava: STU v Bratislave FEI, 1999.
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MLA-Zitierstil (9. Ausg.)
Šiška, Marián, et al. Plazmatické Leptanie Kremíka = Plasme Etching of Silicon: Dipl.práca. STU v Bratislave FEI, 1999.
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