Maly, W. (1987). Atlas of IC technologies: An introduction of VLSI processes. The Benjamin/Cummings Publ.Comp.
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Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)
Maly, W. Atlas of IC Technologies: An Introduction of VLSI Processes. Menlo Park: The Benjamin/Cummings Publ.Comp, 1987.
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MLA-Zitierstil (9. Ausg.)
Maly, W. Atlas of IC Technologies: An Introduction of VLSI Processes. The Benjamin/Cummings Publ.Comp, 1987.
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