Middleman, S., & Hochberg, A. K. (1993). Process engineering analysis in semiconductor device fabrication (1.vyd.). McGraw-Hill.
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Style de citation Chicago (17e éd.)
Middleman, Stanley, et Arthur K. Hochberg. Process Engineering Analysis in Semiconductor Device Fabrication. 1.vyd. New York: McGraw-Hill, 1993.
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Style de citation MLA (9e éd.)
Middleman, Stanley, et Arthur K. Hochberg. Process Engineering Analysis in Semiconductor Device Fabrication. 1.vyd. McGraw-Hill, 1993.
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Attention : ces citations peuvent ne pas être correctes à 100%.