Risultati della ricerca - Rybakov, Timur

HCl etching InAlN/GaN heterostructures InAlN/GaN heteroštruktúry annealing temperature optimization argon plasma cleaning electrical properties of contacts elektrické vlastnosti kontaktov leptanie v HCl manufacturing process metal layer deposition naparovanie kovových vrstiev odprášenie argónovou plazmou optimalizácia teploty žíhania predpríprava povrchu surface pre-treatment test structures testovacie štruktúry výrobný proces