American Chemical Society. Division of Polymeric Materials: Science and Engineering, American Chemical Society. Meeting, Thompson, L. F., Willson, C. G., & Tagawa, S. (1994). Polymers for microelectronics: Resists and dielectrics. American Chemical Society.
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Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)
American Chemical Society. Division of Polymeric Materials: Science and Engineering, American Chemical Society. Meeting, L. F. Thompson, C. G. Willson, und Seiichi Tagawa. Polymers for Microelectronics: Resists and Dielectrics. Washington, DC: American Chemical Society, 1994.
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MLA-Zitierstil (9. Ausg.)
American Chemical Society. Division of Polymeric Materials: Science and Engineering, et al. Polymers for Microelectronics: Resists and Dielectrics. American Chemical Society, 1994.
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