MEMS Design and Fabrication : The MEMS Handbook /
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| Outros Autores: | |
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| Formato: | Livro |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
Boca Raton :
CRC Press,
2005
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| Edição: | 2.ed. |
| Assuntos: | |
| Tags: |
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| Descrição Física: | preruš. str |
|---|---|
| ISBN: | 0-8493-9138-5 |