AFM nanolitografia a jej aplikácia na vybrané polovodičové štruktúry : Č.ved.odb. 26-13-9, Obhj. 11.1.2006

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Šoltýs, Ján (Verfasst von)
Weitere Verfasser:	Cambel, Vladimír (Betreuung Doktorarbeit)
Format:	Manuskript Buch
Sprache:	Slowakisch
Veröffentlicht:	Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2002
Schlagworte:	elektronika nanolitografia anodická oxidácia polovodičové štruktúry AFM atómový silový mikroskop
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie das erste Tag hinzu!

View in STU Opac

MARC


LEADER	00000ntm a22000003a 4500
001	stu115197
005	20160719165003.7
008	060327s2002------------------------slo-d
040			\|a STU \|b slo
041	0		\|a slo
100	1		\|a Šoltýs, Ján \|4 aut \|9 100
245	1		\|a AFM nanolitografia a jej aplikácia na vybrané polovodičové štruktúry : \|b Č.ved.odb. 26-13-9, Obhj. 11.1.2006
260			\|a Bratislava : \|b STU v Bratislave FEI, \|c 2002
300			\|a 40 s \|c príl.
650		7	\|a elektronika \|2 stusub
650		7	\|a nanolitografia \|2 stusub
650		7	\|a anodická oxidácia \|2 stusub
650		7	\|a polovodičové štruktúry \|2 stusub
650		7	\|a AFM \|2 stusub
650		7	\|a atómový silový mikroskop \|2 stusub
700	1		\|a Cambel, Vladimír \|4 ths
996			\|b 284ED01110 \|c E*PGŠ-921 \|l EE01 \|s A \|a 24 \|w stu115197_0001