Svetlom podporované chemické leptane polovodičových štruktúr na báze AIGaN/GaN

Saved in:

Bibliographic Details
Main Author:	Serbák, Juraj (Author)
Other Authors:	Škriniarová, Jaroslava, 1954- (Thesis advisor)
Format:	Manuscript Book
Language:	Slovak
Published:	Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2007
Subjects:	elektronika chemické leptanie polovodičové štruktúry
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!

View in STU Opac

MARC


LEADER	00000ntm a22000003a 4500
001	stu142730
005	20160719165032.3
008	070627s2007------------------------slo-d
040			\|a STU \|b slo
041	0		\|a slo
100	1		\|a Serbák, Juraj \|4 aut
245	1		\|a Svetlom podporované chemické leptane polovodičových štruktúr na báze AIGaN/GaN
260			\|a Bratislava : \|b STU v Bratislave FEI, \|c 2007
300			\|a 33 s
650		7	\|a elektronika \|2 stusub
650		7	\|a chemické leptanie \|2 stusub
650		7	\|a polovodičové štruktúry \|2 stusub
700	1		\|a Škriniarová, Jaroslava, \|d 1954- \|4 ths \|u E030 \|U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky \|T FEI Ústav elektroniky a fotoniky \|X 1866 \|U E030 \|Y 549 \|7 A000001866