Využitie progamu SRIM na simuláciu iónovej implantácie s využitím masiek

Saved in:

Bibliographic Details
Main Author:	Cibula, Marcel (Author)
Other Authors:	Pavlovič, Márius, 1963- (Thesis advisor)
Format:	Manuscript Book
Language:	Slovak
Published:	Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2007
Subjects:	elektromateriálové inžinierstvo SRIM iónová implantácia
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!

View in STU Opac

MARC


LEADER	00000ntm a22000003a 4500
001	stu142866
005	20160719165046.1
008	070629s2007------------------------slo-d
040			\|a STU \|b slo
041	0		\|a slo
100	1		\|a Cibula, Marcel \|4 aut
245	1		\|a Využitie progamu SRIM na simuláciu iónovej implantácie s využitím masiek
260			\|a Bratislava : \|b STU v Bratislave FEI, \|c 2007
300			\|a 55 s
650		7	\|a elektromateriálové inžinierstvo \|2 stusub
650		7	\|a SRIM \|2 stusub
650		7	\|a iónová implantácia \|2 stusub
700	1		\|a Pavlovič, Márius, \|d 1963- \|4 ths \|u E060 \|U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky \|T FEI Ústav jadrového a fyzikálneho inžinierstva \|X 1842 \|U E060 \|Y 817 \|7 A000001842