Development of Zn-alloy magnetron sputter targets

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Žilinský, Adam, 1986- (Verfasst von)
Weitere Verfasser:	Kusý, Martin, 1975- (Betreuung Doktorarbeit)
Format:	Manuskript Buch
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	STU v Bratislave MTF UMAT, 2010
Schlagworte:	vákuum atmosphere atmosféra
Online-Zugang:	VAIS
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie das erste Tag hinzu!

View in STU Opac

MARC


LEADER	00000ntm a22000003a 4500
001	stu206236
005	20160719160211.0
008	100702s2010------------------------eng-d
040			\|a STU \|b slo
041	0		\|a eng
100	1		\|a Žilinský, Adam, \|d 1986- \|4 aut \|X 26727 \|7 A000026727
242	0	0	\|a Vývoj magnetrónových naprašovacích terčov na báze zinkových zliatin \|y slo
245	1		\|a Development of Zn-alloy magnetron sputter targets
260			\|b STU v Bratislave MTF UMAT, \|c 2010
650		7	\|a vákuum \|2 stusub
650		7	\|a atmosphere \|2 estusub
650		7	\|a atmosféra \|2 stusub
700	1		\|a Kusý, Martin, \|d 1975- \|4 ths \|u M1000 \|U MTF Materiálovotechnologická fakulta \|T MTF Ústav materiálov \|X 2764 \|U M1000 \|Y 81 \|7 A000002764
856	4		\|a info a plný text \|u http://is.stuba.sk/zp/portal_zp.pl?podrobnosti=75326 \|3 VAIS
996			\|c M*DP-9141 \|l MMSKP \|s P \|a 0 \|w stu206236_0001