Využitie iónových zväzkov pre vákuovú mikrotechnológiu : Zpráva dielčej štátnej výskumnej úlohy III-3-3/5
Enregistré dans:
| Auteur principal: | |
|---|---|
| Autres auteurs: | |
| Format: | Livre |
| Publié: |
Bratislava :
SVŠT v Bratislave EF,
1972
|
| Tags: |
Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!
|
| Description matérielle: | 27 s príl. |
|---|