Rastrovacia elektrónová mikroskopia štruktúr tvarovaných suchým chemickým leptaním

Guardado en:
Autor principal: Brestovanský, Michal, 1988- (Autor)
Otros Autores: Priesol, Juraj, 1986- (Orientador)
Formato: Manuscrito Libro
Lenguaje:eslovaco
Publicado: Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2014
Materias:
Mikroelektronika
Microelectronics
rastrovacia elektrónová mikroskopia
Acceso en línea:VAIS
Etiquetas: Agregar Etiqueta
Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!

MARC

LEADER 00000ntm a22000003a 4500
001 stu294307
005 20150617230317.7
008 140717s2014----xo------------------slo-d
040 |a STU  |b slo 
041 0 |a slo 
044 |a xo 
100 1 |a Brestovanský, Michal,  |d 1988-  |4 aut  |u E  |T FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky  |X 74405  |U E  |Y 30  |7 A000074405 
242 0 0 |a Scanning electron microscopy of structures formed by dry chemical etching  |y eng 
245 1 |a Rastrovacia elektrónová mikroskopia štruktúr tvarovaných suchým chemickým leptaním 
260 |a Bratislava :  |b STU v Bratislave FEI,  |c 2014 
300 |a 47 s  |c DVD 
650 7 |a Mikroelektronika  |2 stusub 
650 7 |a Microelectronics  |2 estusub 
650 7 |a rastrovacia elektrónová mikroskopia  |2 stusub 
700 1 |a Priesol, Juraj,  |d 1986-  |4 ths  |u E030  |U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky  |T FEI Ústav elektroniky a fotoniky  |X 28614  |U E030  |Y 549  |7 A000028614 
856 4 |a info a plný text  |u http://is.stuba.sk/zp/portal_zp.pl?podrobnosti=102996  |3 VAIS 
996 |b 284EP11020  |c E*DIPL-11020  |l EE33  |s P  |a 0  |w stu294307_0001 

Ejemplares similares