Príspevok k riešeniu problematiky využitia elektrónovej litografie v mikroelektronike : Kand.diz.práca : V.odb. 11-22-9 : Obh. 23.04.1987 /
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| Natura: | Manoscritto Libro |
| Pubblicazione: |
Bratislava :
SVŠT v Bratislave EF,
1986
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| Descrizione fisica: | 163 s : príl. 23 s + Autoref.1986, 25 s |
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