Meranie multivrstvových štruktúr pre mikroelektroniku metódou hmotnostnej spektrometrie sekundárnych iónov : Dipl.práca
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Manuscript Book |
| Language: | Slovak |
| Published: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
1999
|
| Subjects: | |
| Tags: |
No Tags, Be the first to tag this record!
|
MARC
| LEADER | 00000ntm a22000003a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | stu52699 | ||
| 005 | 20160719164907.5 | ||
| 008 | 000320s1999----xo------------------slo-d | ||
| 040 | |a STU |b slo | ||
| 041 | 0 | |a slo | |
| 044 | |a xo | ||
| 100 | 1 | |a Gábor, Zoltán |4 aut | |
| 245 | 1 | |a Meranie multivrstvových štruktúr pre mikroelektroniku metódou hmotnostnej spektrometrie sekundárnych iónov : |b Dipl.práca | |
| 260 | |a Bratislava : |b STU v Bratislave FEI, |c 1999 | ||
| 300 | |a 49 s | ||
| 650 | 7 | |a elektronika |2 stusub | |
| 700 | 1 | |a Fesič, Vladimír |4 ths | |