Vysokofrekvenčné naprašovanie viaczložkových materiálov, najmä zliatin hliníka vhodných pre metalizáciu integrovaných obvodov : Kand.diz.práca : V.odb. 26-10-9 : Obh. 13.11.1980 /
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Manuscript Book |
| Published: |
Bratislava :
SVŠT v Bratislave EF,
1980
|
| Subjects: | |
| Tags: |
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Be the first to leave a comment!