Micro mechanical systems. Principles and technology /

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Weitere Verfasser: Fukuda, Tashio (Zusammenstellung), Menz, Wolfgang (Zusammenstellung)
Format: Buch
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Amsterdam : Elsevier, 2002
Schlagworte:
mikromechanické zariadenia
prevodníky
tlakové senzory
akcelerometre
gyroskopy
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