MEMS Mechanical Sensors

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Beeby, Stephen (Verfasst von), Ensell, Graham (Verfasst von), Kraft, Michael (Verfasst von), White, Neil (Verfasst von)
Format: Buch
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Norwood : Artech House, 2004
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