An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Boston :
Artech House,
2004
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| Ausgabe: | 2.ed. |
| Schlagworte: | |
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