Vývoj perspektívnych optoelektronických a fotonických prvkov na báze štruktúr oxynitridov kremíka

Saved in:
Main Author: Lacko, Vratislav (Author)
Other Authors: Podlucký, Ľuboš (Thesis advisor)
Format: Manuscript Book
Language:Slovak
Published: Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2023
Subjects:
Fotonická mriežka
Oxynitrid kremíka
Fotolitografia
Photonic grating
Silicon oxynitrid
Photolitography
Online Access:https://opac.crzp.sk/?fn=detailBiblioFormChildG694R&sid=C0DEB8E07572332BAD240B15805F&seo=CRZP-detail-kniha
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

MARC

LEADER 00000ntm a22000003a 4500
001 stuzp89601
003 SK-STU
005 20241125141014.2
007 ta
008 150427s2015----xo-----f-mn---000-0-slo-d
040 |a STU  |b slo 
041 0 |a slo 
044 |a xo 
100 1 |a Lacko, Vratislav  |u 033000  |4 aut  |U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky  |T FEI Ústav elektroniky a fotoniky  |X 92526  |U E030  |Y 549  |7 92526 
242 0 1 |a Development of perspective optoelectronic and photonic devices based on silicon oxynitride structures  |y eng 
245 1 0 |a Vývoj perspektívnych optoelektronických a fotonických prvkov na báze štruktúr oxynitridov kremíka 
260 |a Bratislava :  |b STU v Bratislave FEI,  |c 2023 
300 |a 68 s. 
650 4 |a Fotonická mriežka  |2 slo 
650 4 |a Oxynitrid kremíka  |2 slo 
650 4 |a Fotolitografia  |2 slo 
650 4 |a Photonic grating  |2 eng 
650 4 |a Silicon oxynitrid  |2 eng 
650 4 |a Photolitography  |2 eng 
700 1 |a Podlucký, Ľuboš  |u 033000  |k Z2  |4 ths  |U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky  |T FEI Ústav elektroniky a fotoniky  |X 72650  |U E030  |Y 549  |7 72650 
856 4 |u https://opac.crzp.sk/?fn=detailBiblioFormChildG694R&sid=C0DEB8E07572332BAD240B15805F&seo=CRZP-detail-kniha 

Similar Items