Thompson, L. F., Willson, C. G., & Bowden, M. J. (1994). Introduction to microlithography (2nd ed.). American Chemical Society.
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Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)
Thompson, L. F., C. G. Willson, und M. J. Bowden. Introduction to Microlithography. 2nd ed. Washington, DC: American Chemical Society, 1994.
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MLA-Zitierstil (9. Ausg.)
Thompson, L. F., et al. Introduction to Microlithography. 2nd ed. American Chemical Society, 1994.
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