Hess, D. W., & Jensen, K. F. (1989). Microelectronics processing: Chemical engineering aspects. American Chemical Society.
Erfolgreich in die Zwischenablage kopiert
Kopieren in die Zwischenablage fehlgeschlagen
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)
Hess, Dennis W., und Klavs F. Jensen. Microelectronics Processing: Chemical Engineering Aspects. Washington, DC: American Chemical Society, 1989.
Erfolgreich in die Zwischenablage kopiert
Kopieren in die Zwischenablage fehlgeschlagen
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)
Hess, Dennis W., und Klavs F. Jensen. Microelectronics Processing: Chemical Engineering Aspects. American Chemical Society, 1989.
Erfolgreich in die Zwischenablage kopiert
Kopieren in die Zwischenablage fehlgeschlagen
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.