Hĺbkové profilovanie tenkých SiC vrstiev pomocou AES : Dipl.práca /

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Kosiba, Rastislav (Verfasst von)
Weitere Verfasser: Liday, Jozef, 1945- (Betreuung Doktorarbeit)
Format: Manuskript Buch
Veröffentlicht: Bratislava : STU v Bratislave FEI, 1997
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie das erste Tag hinzu!

MARC

LEADER 00000ntm a22000003a 4500
001 stu10477
005 20150617225801.5
008 980114s1997----------------------------d
040 |a STU  |b slo 
041 0
100 1 |a Kosiba, Rastislav  |4 aut  |u E210  |U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky  |T FEI Katedra mikroelektroniky  |U E210  |Y 68 
245 1 |a Hĺbkové profilovanie tenkých SiC vrstiev pomocou AES :  |b Dipl.práca /  |c [aut.] Kosiba,Rastislav; Škol. Liday,Jozef 
260 |a Bratislava :  |b STU v Bratislave FEI,  |c 1997 
300 |a 69 s 
700 1 |a Liday, Jozef,  |d 1945-  |4 ths  |u E030  |U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky  |T FEI Ústav elektroniky a fotoniky  |X 2050  |U E030  |Y 549  |7 A000002050