Hĺbkové profilovanie tenkých SiC vrstiev pomocou AES : Dipl.práca /
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Manuscript Book |
| Published: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
1997
|
| Tags: |
No Tags, Be the first to tag this record!
|
MARC
| LEADER | 00000ntm a22000003a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | stu10477 | ||
| 005 | 20150617225801.5 | ||
| 008 | 980114s1997----------------------------d | ||
| 040 | |a STU |b slo | ||
| 041 | 0 | ||
| 100 | 1 | |a Kosiba, Rastislav |4 aut |u E210 |U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky |T FEI Katedra mikroelektroniky |U E210 |Y 68 | |
| 245 | 1 | |a Hĺbkové profilovanie tenkých SiC vrstiev pomocou AES : |b Dipl.práca / |c [aut.] Kosiba,Rastislav; Škol. Liday,Jozef | |
| 260 | |a Bratislava : |b STU v Bratislave FEI, |c 1997 | ||
| 300 | |a 69 s | ||
| 700 | 1 | |a Liday, Jozef, |d 1945- |4 ths |u E030 |U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky |T FEI Ústav elektroniky a fotoniky |X 2050 |U E030 |Y 549 |7 A000002050 | |