VLSI Electronics Microstructure science : Vol.8. Plasma proceesing for VLSI /
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| Weitere Verfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Orlando :
Academic Press,
1983
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|
MARC
| LEADER | 00000nam a22000003a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | stu124719 | ||
| 005 | 20150617225903.6 | ||
| 008 | 060817s1983----xxu-----------------eng-d | ||
| 040 | |a STU |b slo | ||
| 041 | 0 | |a eng | |
| 044 | |a xxu | ||
| 080 | |a 621.382.049.771.14 | ||
| 080 | |a 538.9 |7 stu_us_auth*stu7967 | ||
| 100 | 1 | |a Einspruch, Norman G |4 com | |
| 245 | 1 | |a VLSI Electronics Microstructure science : |b Vol.8. Plasma proceesing for VLSI / |c Ed.: Einspruch, N.G., Brown, D.M. | |
| 260 | |a Orlando : |b Academic Press, |c 1983 | ||
| 300 | |a 14, 527 s | ||
| 700 | 1 | |a Brown, Dale M |4 com | |
| 996 | |b E57985 |c E*57985 |l EE11 |s P |a 0 |w stu124719_0001 | ||