Merač teploty v HF CVD reaktore s bezdrôtovým (optickým) prenosom informácie o teplote

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Kolmačka, Michal, 1984- (Verfasst von)
Weitere Verfasser: Kadlečíková, Magdaléna, 1956- (Betreuung Doktorarbeit), Kremničan, V. (Betreuung Doktorarbeit)
Format: Manuskript Buch
Sprache:Slowakisch
Veröffentlicht: Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2007
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