Optimalizácia dávkovania kvapalného prekurzora pre prípravu tenkých vrstiev metódou MOCVD

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Dzvoník, Róbert (Verfasst von)
Weitere Verfasser:	Fröhlich, Karol (Betreuung Doktorarbeit), Harmatha, Ladislav, 1948- (Betreuung Doktorarbeit)
Format:	Manuskript Buch
Sprache:	Slowakisch
Veröffentlicht:	Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2008
Schlagworte:	elektronika Mikroelektronika tenké vrstvy
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie das erste Tag hinzu!

View in STU Opac

MARC


LEADER	00000ntm a22000003a 4500
001	stu179789
005	20160719165124.1
008	090211s2008----xo------------------slo-d
040			\|a STU \|b slo
041	0		\|a slo
044			\|a xo
100	1		\|a Dzvoník, Róbert \|4 aut
245	1		\|a Optimalizácia dávkovania kvapalného prekurzora pre prípravu tenkých vrstiev metódou MOCVD
260			\|a Bratislava : \|b STU v Bratislave FEI, \|c 2008
300			\|a 46 s
650		7	\|a elektronika \|2 stusub
650		7	\|a Mikroelektronika \|2 stusub
650		7	\|a tenké vrstvy \|2 stusub
700	1		\|a Fröhlich, Karol \|4 ths \|X 36487 \|7 A000036487
700	1		\|a Harmatha, Ladislav, \|d 1948- \|4 ths \|u E030 \|U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky \|T FEI Ústav elektroniky a fotoniky \|X 2055 \|U E030 \|Y 549 \|7 A000002055