Depozícia tenkých vrstiev využitím magnetrónového naprašovania a dutej katódy
Salvato in:
| Autore principale: | |
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| Altri autori: | |
| Natura: | Manoscritto Libro |
| Lingua: | slovacco |
| Pubblicazione: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
2009
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| Soggetti: | |
| Tags: |
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