Vplyv parametrov naprašovania na štruktúrne a napäťové charakteristiky tenkých vrstiev

Uložené v:
Podrobná bibliografia
Hlavný autor: Sahul, Martin, 1985- (Autor)
Ďalší autori: Čaplovič, Ľubomír, 1955- (Vedúci práce)
Médium: Rukopis Kniha
Jazyk:Slovak
Vydavateľské údaje: STU v Bratislave MTF UMAT, 2010
On-line prístup:VAIS
Tagy: Pridať tag
Žiadne tagy, Buďte prvý, kto otaguje tento záznam!

Podobné jednotky: Vplyv parametrov naprašovania na štruktúrne a napäťové charakteristiky tenkých vrstiev