Vplyv parametrov naprašovania na štruktúrne a napäťové charakteristiky tenkých vrstiev

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Sahul, Martin, 1985- (Verfasst von)
Weitere Verfasser:	Čaplovič, Ľubomír, 1955- (Betreuung Doktorarbeit)
Format:	Manuskript Buch
Sprache:	Slowakisch
Veröffentlicht:	STU v Bratislave MTF UMAT, 2010
Online-Zugang:	VAIS
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie das erste Tag hinzu!

View in STU Opac

MARC


LEADER	00000ntm a22000003a 4500
001	stu207923
005	20150617230057.9
008	100722s2010------------------------slo-d
040			\|a STU \|b slo
041	0		\|a slo
100	1		\|a Sahul, Martin, \|d 1985- \|4 aut \|u M1000 \|U MTF Materiálovotechnologická fakulta \|T MTF Ústav materiálov \|X 30350 \|U M1000 \|Y 81 \|7 A000030350
242	0	0	\|a Influence of deposition parameters on the structure and stress characteristics of thin layers \|y eng
245	1		\|a Vplyv parametrov naprašovania na štruktúrne a napäťové charakteristiky tenkých vrstiev
260			\|b STU v Bratislave MTF UMAT, \|c 2010
700	1		\|a Čaplovič, Ľubomír, \|d 1955- \|4 ths \|u M1000 \|U MTF Materiálovotechnologická fakulta \|T MTF Ústav materiálov \|X 315 \|U M1000 \|Y 81 \|7 A000000315
856	4		\|a info a plný text \|u http://is.stuba.sk/zp/portal_zp.pl?podrobnosti=75355 \|3 VAIS
996			\|c M*DP-9130 \|l MMSKP \|s P \|a 0 \|w stu207923_0001