Vplyv parametrov naprašovania na štruktúrne a napäťové charakteristiky tenkých vrstiev
Na minha lista:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Outros Autores: | |
| Formato: | Manuscrito Livro |
| Idioma: | eslovaco |
| Publicado em: |
STU v Bratislave MTF UMAT,
2010
|
| Acesso em linha: | VAIS |
| Tags: |
Sem tags, seja o primeiro a adicionar uma tag!
|
MARC
| LEADER | 00000ntm a22000003a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | stu207923 | ||
| 005 | 20150617230057.9 | ||
| 008 | 100722s2010------------------------slo-d | ||
| 040 | |a STU |b slo | ||
| 041 | 0 | |a slo | |
| 100 | 1 | |a Sahul, Martin, |d 1985- |4 aut |u M1000 |U MTF Materiálovotechnologická fakulta |T MTF Ústav materiálov |X 30350 |U M1000 |Y 81 |7 A000030350 | |
| 242 | 0 | 0 | |a Influence of deposition parameters on the structure and stress characteristics of thin layers |y eng |
| 245 | 1 | |a Vplyv parametrov naprašovania na štruktúrne a napäťové charakteristiky tenkých vrstiev | |
| 260 | |b STU v Bratislave MTF UMAT, |c 2010 | ||
| 700 | 1 | |a Čaplovič, Ľubomír, |d 1955- |4 ths |u M1000 |U MTF Materiálovotechnologická fakulta |T MTF Ústav materiálov |X 315 |U M1000 |Y 81 |7 A000000315 | |
| 856 | 4 | |a info a plný text |u http://is.stuba.sk/zp/portal_zp.pl?podrobnosti=75355 |3 VAIS | |
| 996 | |c M*DP-9130 |l MMSKP |s P |a 0 |w stu207923_0001 | ||