Suché plazmatické leptanie a tvarovanie mikroštruktúr pre aplikácie v mikroelektronike a senzorike : V.odb. 26-13-9 : dát.obhaj. 16.5.2010
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Format: | Manuscript Book |
| Language: | Slovak |
| Published: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
2009
|
| Subjects: | |
| Tags: |
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Similar Items: Suché plazmatické leptanie a tvarovanie mikroštruktúr pre aplikácie v mikroelektronike a senzorike :
- Suché leptanie polovodičov podporované svetelným žiarením : Kand.diz.práca : V.odb. 26-11-9 : Obh. 13.04.1994 /
- Silicon micromachining /
- Tvarovanie GaN mokrým chemickým leptaním
- Plazmatické techniky
- Sposoby metallografičeskovo travlenija : Spravočnik /
- Process engineering analysis in semiconductor device fabrication /