Optimalizácia elektrónovej litografie na prípravu nanoštruktúr pre vybrané senzorové aplikácie

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Detalhes bibliográficos
Autor principal:	Vajda, Matúš (Author)
Outros Autores:	Pavúk, Milan (Thesis advisor)
Formato:	Manuscrito Livro
Idioma:	eslovaco
Publicado em:	Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2023
Assuntos:	Jednofotónový detektor Skenovací elektrónový mikroskop Suché leptanie Elektrónová litografia Nanodrôt Single-photon detector Electron-beam lithography Nanowire Scanning electron microscope Dry etching
Acesso em linha:	https://opac.crzp.sk/?fn=detailBiblioFormChildA85TG&sid=C03CB0FBA6588971DE3F23D1B6BF&seo=CRZP-detail-kniha
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