Optimalizácia elektrónovej litografie na prípravu nanoštruktúr pre vybrané senzorové aplikácie

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Vajda, Matúš (Verfasst von)
Weitere Verfasser: Pavúk, Milan (Betreuung Doktorarbeit)
Format: Manuskript Buch
Sprache:Slowakisch
Veröffentlicht: Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2023
Schlagworte:
Online-Zugang:https://opac.crzp.sk/?fn=detailBiblioFormChildA85TG&sid=C03CB0FBA6588971DE3F23D1B6BF&seo=CRZP-detail-kniha
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