Výskum katódového naprašovania, iónového plátovanie a iónového leptania vrstových štruktúr. Časť C: Výskum iónového plátovania. : Etapová správa o riešení čiastkovej úlohy III-4-3/1 štátného plánu základného výskumu
Saved in:
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
Bratislava :
SVŠT v Bratislave EF,
1978
|
| Tags: |
No Tags, Be the first to tag this record!
|
MARC
| LEADER | 00000nam a22000003a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | stu235451 | ||
| 005 | 20150617230143.7 | ||
| 008 | 111004s1970----------------------------d | ||
| 040 | |a STU |b slo | ||
| 041 | 0 | ||
| 100 | 1 | |a Harman, Rudolf |4 aut | |
| 245 | 1 | |a Výskum katódového naprašovania, iónového plátovanie a iónového leptania vrstových štruktúr. Časť C: Výskum iónového plátovania. : |b Etapová správa o riešení čiastkovej úlohy III-4-3/1 štátného plánu základného výskumu | |
| 260 | |a Bratislava : |b SVŠT v Bratislave EF, |c 1978 | ||
| 300 | |a 43 s |c príl. | ||
| 700 | 1 | |a Búc, Dalibor, |d 1948- |4 aut |u E030 |U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky |T FEI Ústav elektroniky a fotoniky |X 2034 |U E030 |Y 549 |7 A000002034 | |
| 700 | 1 | |a Slovinec, Ľ. |4 aut | |
| 996 | |b EVYSK-S-264 |c E*VYSK-S-264 |l E |s P |a 0 |w stu235451_0001 | ||