Výskum katódového naprašovania, iónového plátovanie a iónového leptania vrstových štruktúr. Časť B: Vybrané metódy hodnotenia dielektrických vrstiev v rozhraní v MIS štruktúrach : Etapová správa o riešení čiastkovej úlohy III-4-3/1 štátného plánu základného výskumu
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , , , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Veröffentlicht: |
Bratislava :
SVŠT v Bratislave EF,
1978
|
| Tags: |
Keine Tags, Fügen Sie das erste Tag hinzu!
|