Výskum katódového naprašovania, iónového plátovanie a iónového leptania vrstových štruktúr. Časť B: Vybrané metódy hodnotenia dielektrických vrstiev v rozhraní v MIS štruktúrach : Etapová správa o riešení čiastkovej úlohy III-4-3/1 štátného plánu základného výskumu

Documenti analoghi

• Výskum katódového naprašovania, iónového plátovanie a iónového leptania vrstových štruktúr. Časť C: Výskum iónového plátovania. : Etapová správa o riešení čiastkovej úlohy III-4-3/1 štátného plánu základného výskumu
  di: Harman, Rudolf, et al.
  Pubblicazione: (1978)
• Výskum katódového naprašovania, iónového plátovanie a iónového leptania vrstových štruktúr. Časť A: Výskum VF naprašovania kovových vrstiev : Etapová správa o riešení čiastkovej úlohy III-4-3/1 štátného plánu základného výskumu
  di: Harman, Rudolf, et al.
  Pubblicazione: (1978)
• Výskum katódového naprašovania tenkých vrstiev
  di: Harman, Rudolf
  Pubblicazione: (1970)
• Optimalizácia rastovania iónového dela
  di: Melek, Matej
  Pubblicazione: (2003)
• Modifikácia AFM hrotov pomocou fokusovaného iónového zväzku
  di: Ďuriš, Jaroslav, 1990-
  Pubblicazione: (2014)