Výskum katódového naprašovania, iónového plátovanie a iónového leptania vrstových štruktúr. Časť B: Vybrané metódy hodnotenia dielektrických vrstiev v rozhraní v MIS štruktúrach : Etapová správa o riešení čiastkovej úlohy III-4-3/1 štátného plánu základného výskumu
Guardado en:
| Autores principales: | , , , , |
|---|---|
| Formato: | Libro |
| Publicado: |
Bratislava :
SVŠT v Bratislave EF,
1978
|
| Etiquetas: |
Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!
|
| Descripción Física: | 185 s |
|---|