Výskum katódového naprašovania, iónového plátovanie a iónového leptania vrstových štruktúr. Časť B: Vybrané metódy hodnotenia dielektrických vrstiev v rozhraní v MIS štruktúrach : Etapová správa o riešení čiastkovej úlohy III-4-3/1 štátného plánu základného výskumu

Guardado en:

Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Harman, Rudolf (Autor), Vaněk, Oldřich (Autor), Kempný, Milan, 1942- (Autor), Syrová, Lívia, 1946- (Autor), Tvarožek, Vladimír, 1943- (Autor)
Formato:	Libro
Publicado:	Bratislava : SVŠT v Bratislave EF, 1978
Etiquetas:	Agregar Etiqueta Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!

View in STU Opac

MARC


LEADER	00000nam a22000003a 4500
001	stu235468
005	20150617230146.4
008	111004s1970----------------------------d
040			\|a STU \|b slo
041	0
100	1		\|a Harman, Rudolf \|4 aut
245	1		\|a Výskum katódového naprašovania, iónového plátovanie a iónového leptania vrstových štruktúr. Časť B: Vybrané metódy hodnotenia dielektrických vrstiev v rozhraní v MIS štruktúrach : \|b Etapová správa o riešení čiastkovej úlohy III-4-3/1 štátného plánu základného výskumu
260			\|a Bratislava : \|b SVŠT v Bratislave EF, \|c 1978
300			\|a 185 s
700	1		\|a Vaněk, Oldřich \|4 aut \|u E210 \|U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky \|T FEI Katedra mikroelektroniky \|U E210 \|Y 68
700	1		\|a Kempný, Milan, \|d 1942- \|4 aut \|u E210 \|U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky \|T FEI Katedra mikroelektroniky \|X 2114 \|U E210 \|Y 68 \|7 A000002114
700	1		\|a Syrová, Lívia, \|d 1946- \|4 aut \|u E040 \|U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky \|T FEI Ústav elektrotechniky \|X 4251 \|U E040 \|Y 550 \|7 A000004251
700	1		\|a Tvarožek, Vladimír, \|d 1943- \|4 aut \|u E030 \|U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky \|T FEI Ústav elektroniky a fotoniky \|X 2107 \|U E030 \|Y 549 \|7 A000002107
996			\|b EVYSK-S-263 \|c E*VYSK-S-263 \|l E \|s P \|a 0 \|w stu235468_0001