Využitie iónových zväzkov pre vákuovú mikrotechnológiu : Správa o výskumnej úlohy III-3-3/6
Uložené v:
| Hlavní autori: | , , |
|---|---|
| Ďalší autori: | |
| Médium: | Kniha |
| Vydavateľské údaje: |
Bratislava :
SVŠT v Bratislave EF,
1972
|
| Tagy: |
Žiadne tagy, Buďte prvý, kto otaguje tento záznam!
|
| Fyzický popis: | 63 s príl. |
|---|