Využitie iónových zväzkov pre vákuovú mikrotechnológiu : Správa o výskumnej úlohy III-3-3/6

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Šlesinger, Josef (Verfasst von), Dúbravcová, Viera (Verfasst von), Tomandl, J. (Verfasst von)
Weitere Verfasser: Bláha, Aleš (Leitung des Forschungsteams)
Format: Buch
Veröffentlicht: Bratislava : SVŠT v Bratislave EF, 1972
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie das erste Tag hinzu!

MARC

LEADER 00000nam a22000003a 4500
001 stu235770
005 20150617230111.2
008 111007s1990----------------------------d
040 |a STU  |b slo 
041 0
100 1 |a Bláha, Aleš  |4 rth 
245 1 |a Využitie iónových zväzkov pre vákuovú mikrotechnológiu :  |b Správa o výskumnej úlohy III-3-3/6 
260 |a Bratislava :  |b SVŠT v Bratislave EF,  |c 1972 
300 |a 63 s  |c príl. 
700 1 |a Šlesinger, Josef  |4 aut 
700 1 |a Dúbravcová, Viera  |4 aut 
700 1 |a Tomandl, J.  |4 aut 
996 |b EVYSK-S-103  |c E*VYSK-S-103  |l E  |s P  |a 0  |w stu235770_0001