Výskum prípravy tenkovrstvových štruktúr katódovým rozprašovaním a vákuovým naparovaním. Časť C/ Pasivácia polovodičových štruktúr : Dielčia správa. Štátna výskumná úloha III-3-5/1

Guardado en:

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Csabay, Otto, 1937- (Autor)
Otros Autores:	Harman, Rudolf (Jefe de equipo de investigación)
Formato:	Libro
Publicado:	Bratislava : SVŠT v Bratislave EF, 1972
Etiquetas:	Agregar Etiqueta Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!

View in STU Opac

MARC


LEADER	00000nam a22000003a 4500
001	stu235781
005	20150617230127.6
008	111007s1971----------------------------d
040			\|a STU \|b slo
041	0
100	1		\|a Harman, Rudolf \|4 rth
245	1		\|a Výskum prípravy tenkovrstvových štruktúr katódovým rozprašovaním a vákuovým naparovaním. Časť C/ Pasivácia polovodičových štruktúr : \|b Dielčia správa. Štátna výskumná úloha III-3-5/1
260			\|a Bratislava : \|b SVŠT v Bratislave EF, \|c 1972
300			\|a 88 s
700	1		\|a Csabay, Otto, \|d 1937- \|4 aut \|u E210 \|U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky \|T FEI Katedra mikroelektroniky \|X 3574 \|U E210 \|Y 68 \|7 A000003574
996			\|b EVYSK-S-106 \|c E*VYSK-S-106 \|l E \|s P \|a 0 \|w stu235781_0001