Výskum prípravy tenkovrstvových štruktúr katódovým rozprašovaním a vákuovým naparovaním. Časť C/ Pasivácia polovodičových štruktúr : Dielčia správa. Štátna výskumná úloha III-3-5/1
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Published: |
Bratislava :
SVŠT v Bratislave EF,
1971
|
| Tags: |
No Tags, Be the first to tag this record!
|