Výskum prípravy tenkovrstvových štruktúr katódovým rozprašovaním a vákuovým naparovaním. Časť C/ Pasivácia polovodičových štruktúr : Dielčia správa. Štátna výskumná úloha III-3-5/1
Guardado en:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Otros Autores: | |
| Formato: | Libro |
| Publicado: |
Bratislava :
SVŠT v Bratislave EF,
1971
|
| Etiquetas: |
Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!
|
| Descripción Física: | 147 s |
|---|