Výskum prípravy tenkovrstvových štruktúr katódovým rozprašovaním a vákuovým naparovaním. Časť C/ Pasivácia polovodičových štruktúr : Dielčia správa. Štátna výskumná úloha III-3-5/1

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Csabay, Otto, 1937- (Verfasst von)
Weitere Verfasser:	Harman, Rudolf (Leitung des Forschungsteams)
Format:	Buch
Veröffentlicht:	Bratislava : SVŠT v Bratislave EF, 1971
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie das erste Tag hinzu!

View in STU Opac

MARC


LEADER	00000nam a22000003a 4500
001	stu235658
005	20150617225738.2
008	111006s1971----------------------------d
040			\|a STU \|b slo
041	0
100	1		\|a Harman, Rudolf \|4 rth
245	1		\|a Výskum prípravy tenkovrstvových štruktúr katódovým rozprašovaním a vákuovým naparovaním. Časť C/ Pasivácia polovodičových štruktúr : \|b Dielčia správa. Štátna výskumná úloha III-3-5/1
260			\|a Bratislava : \|b SVŠT v Bratislave EF, \|c 1971
300			\|a 147 s
700	1		\|a Csabay, Otto, \|d 1937- \|4 aut \|u E210 \|U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky \|T FEI Katedra mikroelektroniky \|X 3574 \|U E210 \|Y 68 \|7 A000003574
996			\|b EVYSK-S-54 \|c E*VYSK-S-54 \|l E \|s P \|a 0 \|w stu235658_0001