Halbleiter-Technologie. Eine Einführung in die Prozesstechnik von Silizium und III-V-Verbindungen /

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Beneking, Heinz (Verfasst von)
Format: Buch
Sprache:Deutsch
Veröffentlicht: Stuttgart : BSB Teubner, 1991
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie das erste Tag hinzu!

MARC

LEADER 00000nam a22000003a 4500
001 stu31541
005 20150617225736.2
008 930107s1991----gw------------------ger-d
020 |a 3-519-06133-3 
040 |a STU  |b slo 
041 0 |a ger 
044 |a gw 
100 1 |a Beneking, Heinz  |4 aut 
245 1 |a Halbleiter-Technologie. Eine Einführung in die Prozesstechnik von Silizium und III-V-Verbindungen /  |c [aut.] Beneking,Heinz 
260 |a Stuttgart :  |b BSB Teubner,  |c 1991 
300 |a 812 s 
996 |b J90115  |c J*90115  |l JJST  |s P  |a 0  |w stu31541_0001