Technologija tonkich i tolstych plenok dľa mikroelektroniki = The engineering of microelektronic thin a thich films /
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Livro |
| Idioma: | russo |
| Publicado em: |
Moskva :
Metallurgija,
1980
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| Tags: |
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| Descrição Física: | 110 s |
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