Technologija tonkich i tolstych plenok dľa mikroelektroniki = The engineering of microelektronic thin a thich films /
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Moskva :
Metallurgija,
1980
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| Tags: |
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| Beschreibung: | 110 s |
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