Technologija tonkich i tolstych plenok dľa mikroelektroniki = The engineering of microelektronic thin a thich films /

Salvato in:
Dettagli Bibliografici
Autore principale: Jowett, Charles E (Autore)
Natura: Libro
Lingua:russo
Pubblicazione: Moskva : Metallurgija, 1980
Tags: Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne!!

MARC

LEADER 00000nam a22000003a 4500
001 stu37459
005 20150617225723.3
008 920713s1980----xxr-----------------rus-d
040 |a STU  |b slo 
041 0 |a rus 
044 |a xxr 
080 |a 621.382 
100 1 |a Jowett, Charles E  |4 aut 
245 1 |a Technologija tonkich i tolstych plenok dľa mikroelektroniki = The engineering of microelektronic thin a thich films /  |c [aut.]C.E. Jowett 
260 |a Moskva :  |b Metallurgija,  |c 1980 
300 |a 110 s 
996 |b 284M003307  |c M*4419-1  |l MMKN  |s A  |a 24  |w stu37459_0001 
996 |b E47831  |c E*47831  |l EE05  |s P  |a 0  |w stu37459_0002 
996 |b E47833  |c E*47833  |l EE05  |s P  |a 0  |w stu37459_0003