Raspylenije tvjordych tel ionnoj bombardirovkoj = Sputtering by particle bombardment 1 : Fizičeskoje raspylenije odnoelementnych tverdych tel /
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| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Moskva :
Mir,
1984
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| Schlagworte: | |
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