Raspylenije tvjordych tel ionnoj bombardirovkoj = Sputtering by particle bombardment 1 : Fizičeskoje raspylenije odnoelementnych tverdych tel /
Enregistré dans:
| Auteur principal: | |
|---|---|
| Format: | Livre |
| Langue: | russe |
| Publié: |
Moskva :
Mir,
1984
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| Sujets: | |
| Tags: |
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