Skúmanie leptacích procesov v plazmochemickom a reaktívnom iónovom leptaní : Kand.diz.práca : V.odb. 26-10-9 : Obh. 04.11.1987 : Projekt III-6-1/12,III-7-2/01 /

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Detalhes bibliográficos
Autor principal: Brčka, Jozef (Author)
Outros Autores: Harman, Rudolf (Thesis advisor)
Formato: Manuscrito Livro
Publicado em: Bratislava : SVŠT v Bratislave EF, 1986
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Descrição
Descrição Física:150 s Autoref.1986, 20 s