Skúmanie leptacích procesov v plazmochemickom a reaktívnom iónovom leptaní : Kand.diz.práca : V.odb. 26-10-9 : Obh. 04.11.1987 : Projekt III-6-1/12,III-7-2/01 /
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| Formato: | Manuscrito Libro |
| Publicado: |
Bratislava :
SVŠT v Bratislave EF,
1986
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| Materias: | |
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MARC
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| 245 | 1 | |a Skúmanie leptacích procesov v plazmochemickom a reaktívnom iónovom leptaní : |b Kand.diz.práca : V.odb. 26-10-9 : Obh. 04.11.1987 : Projekt III-6-1/12,III-7-2/01 / |c [aut.] Brčka,Jozef, Ing.; Škol. Harman,Rudolf | |
| 260 | |a Bratislava : |b SVŠT v Bratislave EF, |c 1986 | ||
| 300 | |a 150 s |c Autoref.1986, 20 s | ||
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| 650 | 7 | |a vákuová technika |2 stusub | |
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